Datapad voor elektronenlithografie

matrix-10-10-header

MAPPER Lithography ontwikkelt een elektronenlithografiemachine voor de fabricage van halfgeleiders. Deze machine gebruikt een elektronenbundel om de chips te belichten, omdat deze kleinere structuren kan schrijven dan een lichtbundel. Technolution is technologiepartner en verantwoordelijk voor de ontwikkeling van het datapad, het onderdeel van de machine dat de stuursignalen voor de elektronenbundels genereert en verdeelt door de machine. Het datapad is een omvangrijk en kritisch component van de lithografiemachine en bevat state of the art technologie.

De elektronenlithografiemachine heeft veel data nodig: het equivalent van 1000 DVD’s per seconde. De af te beelden ontwerpgegevens moeten uitgepakt en realtime aangepast worden om afwijkingen zoals een kleine verschuiving of rotatie van de wafer te compenseren. Daarnaast zijn er strenge eisen aan de tijdsaspecten van de signalen; de onnauwkeurigheid mag niet meer dan tienden van een nanoseconde bedragen. De hoeveelheid data, de noodzaak tot realtime correcties en de tijdsnauwkeurigheid maken het datapad tot een omvangrijke en kritische component van de lithografiemachine.

Voor het datapad heeft Technolution een speciale verwerkingseenheid ontwikkeld, welke de capaciteit van twaalf Altera FPGAs bundelt op een enkele kaart. De kaarten zijn gebouwd in een ATCA vormfactor, waardoor ze eenvoudig gecombineerd kunnen worden met andere commercieel verkrijgbare onderdelen voor ondersteunende taken. Uiteindelijk zullen 130 kaarten per machine worden toegepast in de eerste generatie MAPPER machines.

Contact:

ronald-kraan

Gerelateerde items

Aansturing van 13.000 elektronenbundels

Lees meer

Publicatie

Optische lithografie met elektronen

Lees meer

Publicatie

De stille revolutie van de intelligente machine

Lees meer

Publicatie

Intelligentie aan de randen van de cloud houdt datastromen in toom

Lees meer

Publicatie